在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，十級(jí)無(wú)塵車間能夠?yàn)樾酒圃焯峁┙鯓O致純凈的空間，有效降低塵埃粒子等污染物對(duì)芯片生產(chǎn)過程的干擾，從而提升芯片良品率與性能，滿足當(dāng)下半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)高端制造需求。本文合景凈化工程公司將詳細(xì)介紹十級(jí)芯片廠房無(wú)塵車間的裝修施工工藝規(guī)劃。
十級(jí)芯片無(wú)塵車間的溫度應(yīng)保持在22℃±2℃，相對(duì)濕度應(yīng)保持在45%±5%。采用垂直單向流氣流組織形式，確?？諝鈴奶旎ò辶飨虻孛?，避免交叉污染。選擇具有良好潔凈性能、耐腐蝕、易清潔的材料。合理布局生產(chǎn)設(shè)備和輔助設(shè)施，確保人員、物料和設(shè)備的流動(dòng)路徑最短，減少污染風(fēng)險(xiǎn)。
芯片廠房無(wú)塵車間裝修施工前期先確定施工方案和工藝流程。準(zhǔn)備施工所需的材料、設(shè)備和工具。對(duì)地面進(jìn)行平整處理，并鋪設(shè)防靜電地板。安裝墻體和天花板的龍骨結(jié)構(gòu)。安裝墻體和天花板的彩鋼板或不銹鋼板。安裝門窗、觀察窗和傳遞窗等。
其次，廠房車間內(nèi)應(yīng)安裝空調(diào)機(jī)組、風(fēng)管、風(fēng)口和過濾器等，進(jìn)行空調(diào)系統(tǒng)的調(diào)試和測(cè)試。安裝照明燈具、插座、開關(guān)等電氣設(shè)備，進(jìn)行電氣系統(tǒng)的調(diào)試和測(cè)試。安裝溫濕度傳感器、壓差傳感器等自控設(shè)備，進(jìn)行自控系統(tǒng)的調(diào)試和測(cè)試。對(duì)潔凈室的潔凈度、溫濕度、氣流組織等參數(shù)進(jìn)行測(cè)試和驗(yàn)收。
在芯片廠房無(wú)塵車間施工過程中，嚴(yán)格控制人員和物料的進(jìn)出，避免帶入污染物。施工人員應(yīng)穿戴潔凈服、口罩、手套等防護(hù)用品。注意保持車間的溫濕度穩(wěn)定，避免因施工導(dǎo)致溫濕度波動(dòng)過大。注意保持材料的清潔，避免因材料污染導(dǎo)致車間潔凈度下降。嚴(yán)格按照施工規(guī)范和標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行施工，確保施工質(zhì)量符合要求。
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